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深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

2025-3-14 17:03| 发布者: sanasnoz| 查看: 94| 评论: 0

摘要: 项目背景在晶圆制造与分选环节中,晶圆需精准放置于圆盘凹槽内。一旦发生“搭边”(即晶圆边缘与凹槽接触或超出槽位),可能导致晶圆在旋转时飞出或机械手取放偏移,进而影响生产效率和产品质量。传统检测手段因回光 ...

项目背景

在晶圆制造与分选环节中,晶圆需精准放置于圆盘凹槽内。一旦发生“搭边”(即晶圆边缘与凹槽接触或超出槽位),可能导致晶圆在旋转时飞出或机械手取放偏移,进而影响生产效率和产品质量。


深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

传统检测手段因回光弱、缝隙干扰等问题难以精准识别晶圆搭边状态。针对这一难题,深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器凭借33kHz超高速采样、自研超强感光算法及高兼容性设计,突破了动态轮廓捕捉与微弱信号解析的技术瓶颈,可稳定获取晶圆槽真实轮廓数据,为半导体制造提供了高可靠性的精密检测工具。

检测需求


深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

  • 被测物体:晶圆
  • 工件尺寸:8寸/16寸
  • 测量项目:晶圆搭边
  • 通讯方式:网口

案例分享

深视智能光谱共焦位移传感器具有广泛的适应性和兼容性。它采用自研超强感光算法搭配超亮光源,不受反射光光强的影响,对高反光、低反射率曲面、弧形等材料和表面特性的晶圆都具有良好的检测效果,解决传统方法中回光较少和无效值的问题。


深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

图 | 晶圆搭边检测

深视智能SCI10015光谱共焦位移传感器拥有33kHz的采样频率,±15°回光角度,微米级光斑直径,能够快速稳定捕捉圆盘旋转中的晶圆边缘轮廓,确保微米级位移变化被完整记录,避免漏检高速运动导致的搭边风险。


深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

深视智能SCI10015光谱共焦位移传感器分辨率0.0012μm,测量范围10mm,拥有40.3μm宽点光斑和19.2μm小点光斑,能够适应不同的晶圆尺寸,无论是8寸还是16寸晶圆,都能准确进行检测。


深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

在通讯方式上,深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器支持以太网、模拟量、开关量、RS232等数据传输接口,确保了数据传输的稳定性和可靠性。这使得传感器能够与现有的自动化系统无缝集成,方便快捷地将检测数据传输到控制中心,实现对生产过程的实时监控和管理。

深视智能传感器推荐


深视智能点光谱共焦位移传感器破解晶圆搭边检测难题

深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器在晶圆搭边测试中的应用,不仅解决了传统检测方法的难题,还为半导体制造行业带来了更高的生产效率和更可靠的产品质量。

随着技术的不断发展和应用的深入,相信SCI系列传感器将在更多的领域发挥其独特的优势,为智能制造提供更强大的支持。


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